引 言 算作极紫外与X射线光学的枢纽元件,多层膜已在等离子体会诊、生命科学[1]、空间天文不雅测、同步放射[2]等领域阐扬着越来越紧要的作用。多层膜Laue透镜(multilayer Laue lens,MLL)是一种新式的基于多层膜的一维波带片结构[3]。它利用多层膜本事,克服了传统刻蚀模式对高宽比的截至,稳妥应用于硬X射线波段av色图,是当今外洋上达成硬X射线纳米聚焦最灵验的模式之一。 W/Si多层膜材料是X射线正常期骗的材料组合,其化学性质清醒,界面了了,粗俗度小等优点。在X射线能段,要求