引 言 行为极紫外与X射线光学的要害元件,多层膜已在等离子体会诊、人命科学[1]、空间天文不雅测、同步放射[2]等规模表现着越来越进犯的作用。多层膜Laue透镜(multilayer Laue lens,MLL)是一种新式的基于多层膜的一维波带片结构[3]。它利用多层膜时候,克服了传统刻蚀方法对高宽比的罢了,恰当应用于硬X射线波段,是现在海外上完了硬X射线纳米聚焦最灵验的方法之一。 W/Si多层膜材料是X射线普通利用的材料组合,其化学性质沉稳,界面明晰,粗野度小等优点。在X射线能段,要求多层膜的